VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
1

NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5

NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
2003
5
10
13
44
34
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.06
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2048
10
11418
0.110083
0.376048
1672
0.376048
1673
0.375219
1572
0.374393
1555
0.373571
1539
0.372752
1467
0.371937
1405
0.371125
1484
0.370316
1348
0.369511
1363
0.368709
1325
0.36791
1351
0.367115
1396
0.366323
1388
0.365534
1387
0.364749
1341
0.363966
1486
0.363187
1514
0.362411
1646
0.361638
1829
0.360869
1872
0.360102
1959
0.359339
1936
0.358578
1785
0.357821
1630
0.357067
1469
0.356315
1471
0.355567
1326
0.354822
1222
0.35408
1149
0.35334
1129
0.352604
1051
0.351871
952
0.35114
874
0.350412
830
0.349688
820
0.348966
810
0.348247
841
0.347531
830
0.346817
777
0.346106
740
0.345399
808
0.344694
789
0.343991
804
0.343292
817
0.342595
826
0.3419
862
0.341209
846
0.34052
800
0.339834
822
0.33915
802
0.338469
806
0.337791
760
0.337115
784
0.336442
778
0.335771
802
0.335103
825
0.334438
813
0.333775
793
0.333114
814
0.332456
785
0.3318
744
0.331147
815
0.330497
789
0.329848
773
0.329203
781
0.328559
873
0.327918
949
0.32728
889
0.326643
829
0.32601
813
0.325378
782
0.324749
791
0.324122
806
0.323497
775
0.322875
744
0.322255
785
0.321637
764
0.321022
791
0.320409
736
0.319798
772
0.319189
747
0.318582
745
0.317978
807
0.317376
761
0.316776
762
0.316178
772
0.315582
831
0.314989
826
0.314397
746
0.313808
783
0.313221
842
0.312635
806
0.312052
809
0.311471
846
0.310893
844
0.310316
829
0.309741
802
0.309168
799
0.308597
827
0.308029
817
0.307462
855
0.306897
841
0.306334
815
0.305773
840
0.305215
838
0.304658
788
0.304103
846
0.30355
847
0.302998
823
0.302449
829
0.301902
830
0.301356
844
0.300813
897
0.300271
873
0.299731
851
0.299193
798
0.298657
810
0.298123
846
0.29759
906
0.29706
898
0.296531
866
0.296004
856
0.295478
861
0.294955
839
0.294433
835
0.293913
866
0.293395
886
0.292878
822
0.292364
822
0.291851
894
0.291339
827
0.29083
875
0.290322
823
0.289815
843
0.289311
827
0.288808
892
0.288307
906
0.287807
934
0.287309
865
0.286813
856
0.286318
859
0.285825
828
0.285334
921
0.284844
838
0.284356
925
0.28387
901
0.283385
908
0.282901
900
0.282419
898
0.281939
924
0.28146
886
0.280983
904
0.280508
878
0.280033
925
0.279561
903
0.27909
929
0.27862
969
0.278152
954
0.277686
944
0.277221
932
0.276757
945
0.276295
895
0.275835
920
0.275375
959
0.274918
944
0.274461
894
0.274007
913
0.273553
870
0.273101
932
0.272651
922
0.272202
927
0.271754
940
0.271308
992
0.270863
964
0.27042
927
0.269977
939
0.269537
976
0.269097
963
0.268659
964
0.268223
971
0.267787
972
0.267354
974
0.266921
995
0.26649
977
0.26606
1018
0.265631
1001
0.265204
1010
0.264778
953
0.264353
998
0.26393
1006
0.263508
1028
0.263087
1068
0.262668
990
0.262249
1052
0.261832
1025
0.261417
984
0.261002
983
0.260589
1006
0.260177
1005
0.259766
1013
0.259357
1072
0.258949
1032
0.258542
1038
0.258136
1025
0.257731
1030
0.257328
1097
0.256926
1051
0.256525
1094
0.256125
1057
0.255726
1045
0.255329
1056
0.254933
1100
0.254538
1117
0.254144
1044
0.253751
1058
0.25336
1105
0.252969
1116
0.25258
1032
0.252192
1043
0.251805
1108
0.251419
1083
0.251034
1140
0.250651
1106
0.250268
1099
0.249887
1088
0.249506
1127
0.249127
1049
0.248749
1099
0.248372
1093
0.247996
1056
0.247621
1103
0.247248
1102
0.246875
1138
0.246504
1149
0.246133
1143
0.245764
1132
0.245395
1124
0.245028
1129
0.244662
1144
0.244296
1142
0.243932
1092
0.243569
1086
0.243207
1177
0.242846
1208
0.242486
1180
0.242127
1132
0.241768
1120
0.241411
1142
0.241055
1159
0.2407
1174
0.240346
1167
0.239993
1181
0.239641
1152
0.23929
1116
0.23894
1184
0.238591
1234
0.238243
1215
0.237896
1177
0.237549
1123
0.237204
1214
0.23686
1152
0.236516
1175
0.236174
1162
0.235833
1242
0.235492
1187
0.235152
1241
0.234814
1227
0.234476
1167
0.234139
1175
0.233803
1201
0.233469
1267
0.233135
1256
0.232801
1198
0.232469
1248
0.232138
1198
0.231807
1247
0.231478
1256
0.231149
1285
0.230822
1186
0.230495
1279
0.230169
1288
0.229844
1251
0.22952
1277
0.229196
1333
0.228874
1247
0.228552
1282
0.228231
1265
0.227912
1310
0.227593
1286
0.227274
1268
0.226957
1324
0.226641
1291
0.226325
1308
0.22601
1300
0.225696
1296
0.225383
1325
0.225071
1285
0.224759
1282
0.224449
1340
0.224139
1277
0.22383
1321
0.223521
1284
0.223214
1337
0.222907
1298
0.222602
1348
0.222297
1330
0.221992
1351
0.221689
1364
0.221386
1372
0.221085
1333
0.220784
1331
0.220483
1449
0.220184
1384
0.219885
1333
0.219587
1410
0.21929
1424
0.218994
1408
0.218698
1402
0.218403
1379
0.218109
1377
0.217816
1435
0.217523
1368
0.217231
1394
0.21694
1357
0.21665
1391
0.21636
1417
0.216071
1462
0.215783
1431
0.215496
1414
0.215209
1501
0.214923
1488
0.214638
1449
0.214353
1465
0.214069
1441
0.213786
1425
0.213504
1449
0.213222
1411
0.212941
1468
0.212661
1419
0.212382
1464
0.212103
1556
0.211825
1523
0.211547
1561
0.211271
1603
0.210994
1551
0.210719
1536
0.210444
1495
0.21017
1531
0.209897
1561
0.209624
1691
0.209352
1568
0.209081
1622
0.208811
1575
0.208541
1581
0.208271
1576
0.208003
1571
0.207735
1569
0.207467
1642
0.207201
1631
0.206935
1617
0.206669
1690
0.206405
1640
0.206141
1662
0.205877
1642
0.205614
1677
0.205352
1626
0.205091
1553
0.20483
1716
0.20457
1643
0.20431
1686
0.204051
1743
0.203793
1624
0.203535
1664
0.203278
1601
0.203022
1770
0.202766
1689
0.20251
1767
0.202256
1710
0.202002
1750
0.201748
1775
0.201496
1719
0.201243
1751
0.200992
1766
0.200741
1788
0.20049
1870
0.200241
1797
0.199991
1763
0.199743
1830
0.199495
1752
0.199247
1742
0.199
1827
0.198754
1847
0.198508
1877
0.198263
1857
0.198019
1927
0.197775
1884
0.197531
1827
0.197289
1832
0.197046
1931
0.196805
1981
0.196564
1881
0.196323
1928
0.196083
1895
0.195844
1892
0.195605
1954
0.195366
2005
0.195129
1999
0.194891
1953
0.194655
1995
0.194419
2017
0.194183
2008
0.193948
1951
0.193714
2120
0.19348
2067
0.193246
2075
0.193013
2052
0.192781
2074
0.192549
2017
0.192318
2049
0.192087
2049
0.191857
2155
0.191627
2161
0.191398
2158
0.19117
2149
0.190941
2083
0.190714
2148
0.190487
2219
0.19026
2195
0.190034
2204
0.189809
2222
0.189584
2263
0.189359
2271
0.189135
2220
0.188911
2133
0.188688
2169
0.188466
2182
0.188244
2308
0.188022
2291
0.187801
2235
0.187581
2213
0.187361
2134
0.187141
2162
0.186922
2113
0.186704
2125
0.186486
2243
0.186268
2256
0.186051
2317
0.185835
2385
0.185618
2409
0.185403
2434
0.185188
2591
0.184973
2560
0.184759
2684
0.184545
2634
0.184332
2711
0.184119
2713
0.183907
2545
0.183695
2573
0.183483
2442
0.183272
2377
0.183062
2278
0.182852
2127
0.182642
2059
0.182433
2022
0.182225
1850
0.182016
1879
0.181809
1662
0.181601
1568
0.181395
1477
0.181188
1338
0.180982
1307
0.180777
1259
0.180572
1463
0.180367
1430
0.180163
2076
0.179959
3926
0.179756
7880
0.179553
11418
0.179351
8535
0.179149
3473
0.178947
1614
0.178746
1256
0.178546
1127
0.178345
1130
0.178145
1066
0.177946
1072
0.177747
1044
0.177549
1076
0.177351
1069
0.177153
1034
0.176956
1063
0.176759
1035
0.176562
1061
0.176366
1048
0.176171
1038
0.175975
1011
0.175781
1056
0.175586
1026
0.175392
1017
0.175199
1106
0.175006
1056
0.174813
1024
0.174621
1049
0.174429
1067
0.174237
1095
0.174046
1000
0.173855
1030
0.173665
1050
0.173475
1012
0.173286
1034
0.173097
1082
0.172908
1087
0.172719
1059
0.172531
1105
0.172344
1071
0.172157
1126
0.17197
1061
0.171784
1048
0.171598
1028
0.171412
1104
0.171227
1065
0.171042
1057
0.170857
1037
0.170673
1042
0.170489
1119
0.170306
1062
0.170123
1013
0.169941
1179
0.169758
1039
0.169576
1018
0.169395
1110
0.169214
1053
0.169033
1048
0.168853
1071
0.168673
1065
0.168493
1078
0.168314
1046
0.168135
1066
0.167956
1126
0.167778
1110
0.1676
1110
0.167423
1112
0.167246
1149
0.167069
1062
0.166893
1132
0.166717
1143
0.166541
1120
0.166366
1101
0.166191
1072
0.166016
1135
0.165842
1124
0.165668
1094
0.165494
1087
0.165321
1113
0.165148
1106
0.164975
1156
0.164803
1120
0.164631
1103
0.16446
1144
0.164289
1044
0.164118
1130
0.163947
1107
0.163777
1101
0.163607
1135
0.163438
1083
0.163269
1143
0.1631
1156
0.162931
1131
0.162763
1094
0.162596
1174
0.162428
1159
0.162261
1182
0.162094
1198
0.161928
1159
0.161761
1216
0.161595
1172
0.16143
1164
0.161265
1189
0.1611
1126
0.160935
1117
0.160771
1188
0.160607
1144
0.160444
1224
0.16028
1201
0.160117
1203
0.159955
1137
0.159792
1197
0.15963
1141
0.159469
1187
0.159307
1192
0.159146
1191
0.158985
1209
0.158825
1164
0.158665
1201
0.158505
1157
0.158345
1204
0.158186
1194
0.158027
1115
0.157868
1187
0.15771
1257
0.157552
1137
0.157394
1275
0.157237
1178
0.15708
1171
0.156923
1214
0.156767
1231
0.15661
1237
0.156454
1236
0.156299
1245
0.156143
1335
0.155988
1448
0.155834
1412
0.155679
1395
0.155525
1262
0.155371
1221
0.155218
1221
0.155064
1145
0.154911
1187
0.154759
1212
0.154606
1213
0.154454
1153
0.154302
1278
0.154151
1275
0.153999
1267
0.153848
1286
0.153698
1181
0.153547
1256
0.153397
1209
0.153247
1244
0.153098
1262
0.152948
1225
0.152799
1217
0.15265
1344
0.152502
1277
0.152354
1298
0.152206
1220
0.152058
1351
0.151911
1311
0.151764
1342
0.151617
1233
0.15147
1269
0.151324
1295
0.151178
1291
0.151032
1339
0.150887
1258
0.150741
1269
0.150596
1289
0.150452
1309
0.150307
1254
0.150163
1278
0.150019
1329
0.149876
1356
0.149732
1287
0.149589
1245
0.149446
1312
0.149304
1360
0.149161
1286
0.149019
1410
0.148877
1319
0.148736
1349
0.148594
1391
0.148453
1357
0.148313
1381
0.148172
1376
0.148032
1384
0.147892
1399
0.147752
1425
0.147612
1402
0.147473
1379
0.147334
1386
0.147195
1413
0.147057
1332
0.146919
1422
0.146781
1421
0.146643
1397
0.146505
1456
0.146368
1373
0.146231
1386
0.146094
1447
0.145958
1433
0.145821
1468
0.145685
1446
0.145549
1452
0.145414
1434
0.145278
1429
0.145143
1445
0.145008
1462
0.144874
1536
0.144739
1531
0.144605
1507
0.144471
1518
0.144338
1634
0.144204
1583
0.144071
1563
0.143938
1565
0.143805
1559
0.143673
1613
0.143541
1564
0.143409
1561
0.143277
1524
0.143145
1572
0.143014
1595
0.142883
1632
0.142752
1604
0.142621
1631
0.142491
1508
0.142361
1628
0.142231
1618
0.142101
1655
0.141971
1666
0.141842
1698
0.141713
1671
0.141584
1580
0.141455
1678
0.141327
1604
0.141199
1545
0.141071
1601
0.140943
1602
0.140816
1545
0.140688
1479
0.140561
1435
0.140434
1493
0.140308
1563
0.140181
1532
0.140055
1527
0.139929
1675
0.139803
1845
0.139678
2129
0.139553
2838
0.139427
4063
0.139303
4666
0.139178
3164
0.139053
1694
0.138929
1480
0.138805
1405
0.138681
1440
0.138558
1371
0.138434
1346
0.138311
1360
0.138188
1411
0.138065
1426
0.137942
1437
0.13782
1386
0.137698
1373
0.137576
1342
0.137454
1446
0.137333
1457
0.137211
1434
0.13709
1423
0.136969
1405
0.136848
1374
0.136728
1418
0.136608
1490
0.136487
1429
0.136368
1466
0.136248
1409
0.136128
1354
0.136009
1317
0.13589
1383
0.135771
1438
0.135652
1413
0.135534
1441
0.135415
1463
0.135297
1455
0.135179
1409
0.135061
1432
0.134944
1463
0.134826
1441
0.134709
1483
0.134592
1466
0.134476
1521
0.134359
1440
0.134243
1489
0.134126
1395
0.13401
1520
0.133895
1514
0.133779
1518
0.133664
1471
0.133548
1513
0.133433
1480
0.133318
1520
0.133204
1593
0.133089
1495
0.132975
1558
0.132861
1562
0.132747
1475
0.132633
1574
0.13252
1522
0.132406
1555
0.132293
1551
0.13218
1514
0.132067
1594
0.131955
1542
0.131842
1561
0.13173
1550
0.131618
1591
0.131506
1585
0.131394
1599
0.131283
1533
0.131171
1589
0.13106
1549
0.130949
1586
0.130838
1591
0.130728
1577
0.130617
1675
0.130507
1616
0.130397
1573
0.130287
1636
0.130177
1652
0.130068
1642
0.129958
1628
0.129849
1675
0.12974
1671
0.129631
1643
0.129522
1572
0.129414
1606
0.129305
1673
0.129197
1670
0.129089
1585
0.128981
1644
0.128874
1620
0.128766
1605
0.128659
1569
0.128552
1617
0.128445
1630
0.128338
1687
0.128231
1690
0.128125
1605
0.128019
1658
0.127913
1672
0.127807
1668
0.127701
1589
0.127595
1751
0.12749
1678
0.127384
1611
0.127279
1642
0.127174
1609
0.127069
1533
0.126965
1461
0.12686
1677
0.126756
1604
0.126652
1548
0.126548
1677
0.126444
1632
0.12634
1599
0.126237
1650
0.126134
1674
0.12603
1580
0.125927
1642
0.125825
1779
0.125722
1708
0.125619
1672
0.125517
1513
0.125415
1424
0.125313
1288
0.125211
1274
0.125109
1201
0.125008
1156
0.124906
1079
0.124805
1162
0.124704
1148
0.124603
1326
0.124502
1504
0.124401
2054
0.124301
2476
0.124201
2233
0.1241
2185
0.124
2533
0.123901
2473
0.123801
1429
0.123701
1135
0.123602
988
0.123503
924
0.123404
950
0.123305
860
0.123206
858
0.123107
827
0.123009
870
0.12291
909
0.122812
901
0.122714
876
0.122616
862
0.122518
880
0.122421
887
0.122323
884
0.122226
879
0.122129
893
0.122032
800
0.121935
791
0.121838
761
0.121742
749
0.121645
733
0.121549
729
0.121453
796
0.121357
758
0.121261
768
0.121165
805
0.12107
940
0.120974
930
0.120879
982
0.120784
922
0.120689
985
0.120594
903
0.120499
780
0.120405
726
0.120311
701
0.120216
518
0.120122
436
0.120028
407
0.119934
411
0.119841
387
0.119747
332
0.119654
356
0.11956
353
0.119467
582
0.119374
1094
0.119281
1758
0.119189
1598
0.119096
918
0.119003
1146
0.118911
2009
0.118819
829
0.118727
276
0.118635
200
0.118543
171
0.118452
187
0.11836
172
0.118269
154
0.118177
167
0.118086
156
0.117995
167
0.117904
160
0.117814
148
0.117723
154
0.117633
182
0.117542
142
0.117452
168
0.117362
157
0.117272
141
0.117183
185
0.117093
152
0.117003
179
0.116914
186
0.116825
202
0.116736
252
0.116647
273
0.116558
218
0.116469
166
0.11638
157
0.116292
151
0.116204
165
0.116115
147
0.116027
158
0.115939
181
0.115851
178
0.115764
161
0.115676
190
0.115589
139
0.115501
163
0.115414
160
0.115327
135
0.11524
181
0.115153
171
0.115067
165
0.11498
172
0.114893
164
0.114807
189
0.114721
162
0.114635
154
0.114549
166
0.114463
179
0.114377
168
0.114292
166
0.114206
153
0.114121
177
0.114036
182
0.113951
184
0.113866
171
0.113781
179
0.113696
172
0.113611
152
0.113527
153
0.113442
156
0.113358
146
0.113274
165
0.11319
148
0.113106
148
0.113022
157
0.112939
156
0.112855
173
0.112772
166
0.112688
148
0.112605
211
0.112522
262
0.112439
313
0.112356
403
0.112273
436
0.112191
362
0.112108
267
0.112026
177
0.111944
102
0.111862
114
0.111779
118
0.111698
105
0.111616
109
0.111534
100
0.111452
111
0.111371
151
0.11129
160
0.111208
159
0.111127
152
0.111046
154
0.110965
136
0.110885
126
0.110804
151
0.110723
153
0.110643
117
0.110563
87
0.110482
60
0.110402
51
0.110322
27
0.110242
21
0.110162
10
0.110083

NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
2003
5
10
13
44
37
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
294
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
262
1.09339
1.09429
25
1.09339
21
1.09339
35
1.09339
34
1.0934
27
1.0934
20
1.0934
26
1.09341
41
1.09341
21
1.09341
23
1.09342
13
1.09342
19
1.09342
42
1.09343
24
1.09343
18
1.09344
34
1.09344
13
1.09344
28
1.09345
31
1.09345
35
1.09345
18
1.09346
17
1.09346
39
1.09346
36
1.09347
34
1.09347
32
1.09348
18
1.09348
14
1.09348
27
1.09349
39
1.09349
18
1.09349
35
1.0935
32
1.0935
46
1.0935
25
1.09351
29
1.09351
28
1.09351
31
1.09352
27
1.09352
18
1.09353
42
1.09353
20
1.09353
35
1.09354
23
1.09354
51
1.09354
29
1.09355
39
1.09355
18
1.09355
40
1.09356
41
1.09356
30
1.09356
41
1.09357
23
1.09357
50
1.09358
41
1.09358
58
1.09358
40
1.09359
40
1.09359
21
1.09359
60
1.0936
33
1.0936
33
1.0936
46
1.09361
29
1.09361
39
1.09361
43
1.09362
38
1.09362
46
1.09363
51
1.09363
44
1.09363
50
1.09364
43
1.09364
39
1.09364
45
1.09365
60
1.09365
38
1.09365
53
1.09366
57
1.09366
74
1.09367
69
1.09367
47
1.09367
72
1.09368
87
1.09368
66
1.09368
70
1.09369
81
1.09369
89
1.09369
94
1.0937
79
1.0937
89
1.0937
100
1.09371
76
1.09371
89
1.09372
103
1.09372
101
1.09372
113
1.09373
129
1.09373
145
1.09373
137
1.09374
159
1.09374
178
1.09374
167
1.09375
204
1.09375
197
1.09375
235
1.09376
255
1.09376
227
1.09377
240
1.09377
231
1.09377
262
1.09378
254
1.09378
251
1.09378
243
1.09379
250
1.09379
247
1.09379
236
1.0938
208
1.0938
235
1.0938
178
1.09381
160
1.09381
161
1.09382
153
1.09382
116
1.09382
108
1.09383
104
1.09383
90
1.09383
85
1.09384
61
1.09384
61
1.09384
72
1.09385
53
1.09385
43
1.09385
44
1.09386
23
1.09386
36
1.09387
28
1.09387
33
1.09387
33
1.09388
40
1.09388
23
1.09388
26
1.09389
13
1.09389
20
1.09389
34
1.0939
23
1.0939
20
1.0939
5
1.09391
11
1.09391
19
1.09391
26
1.09392
40
1.09392
16
1.09393
19
1.09393
14
1.09393
23
1.09394
33
1.09394
25
1.09394
41
1.09395
24
1.09395
27
1.09395
15
1.09396
18
1.09396
27
1.09396
11
1.09397
26
1.09397
35
1.09398
20
1.09398
21
1.09398
19
1.09399
26
1.09399
21
1.09399
18
1.094
21
1.094
37
1.094
38
1.09401
30
1.09401
21
1.09401
22
1.09402
29
1.09402
20
1.09403
28
1.09403
12
1.09403
20
1.09404
13
1.09404
26
1.09404
35
1.09405
42
1.09405
46
1.09405
13
1.09406
30
1.09406
11
1.09406
28
1.09407
16
1.09407
11
1.09408
15
1.09408
20
1.09408
15
1.09409
30
1.09409
24
1.09409
6
1.0941
40
1.0941
19
1.0941
33
1.09411
44
1.09411
23
1.09411
15
1.09412
31
1.09412
25
1.09412
17
1.09413
14
1.09413
19
1.09414
15
1.09414
19
1.09414
26
1.09415
22
1.09415
25
1.09415
23
1.09416
17
1.09416
27
1.09416
21
1.09417
21
1.09417
23
1.09417
15
1.09418
15
1.09418
35
1.09419
33
1.09419
18
1.09419
41
1.0942
18
1.0942
16
1.0942
22
1.09421
16
1.09421
21
1.09421
43
1.09422
20
1.09422
18
1.09422
33
1.09423
30
1.09423
25
1.09423
30
1.09424
21
1.09424
44
1.09425
31
1.09425
18
1.09425
34
1.09426
22
1.09426
39
1.09426
27
1.09427
14
1.09427
17
1.09427
21
1.09428
18
1.09428
33
1.09428
27
1.09429
30
1.09429
0
1.09429

NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
2003
5
10
13
44
37
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
112
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
512
19
457
1.10118
1.10197
62
1.10118
69
1.10118
64
1.10118
60
1.10119
63
1.10119
56
1.10119
72
1.1012
71
1.1012
61
1.1012
60
1.10121
54
1.10121
63
1.10121
66
1.10122
71
1.10122
68
1.10122
49
1.10122
71
1.10123
62
1.10123
67
1.10123
56
1.10124
57
1.10124
65
1.10124
53
1.10125
55
1.10125
62
1.10125
65
1.10126
59
1.10126
73
1.10126
53
1.10127
67
1.10127
63
1.10127
50
1.10127
54
1.10128
65
1.10128
56
1.10128
50
1.10129
53
1.10129
56
1.10129
59
1.1013
55
1.1013
58
1.1013
57
1.10131
59
1.10131
51
1.10131
62
1.10132
44
1.10132
68
1.10132
52
1.10132
43
1.10133
53
1.10133
67
1.10133
67
1.10134
57
1.10134
48
1.10134
63
1.10135
63
1.10135
60
1.10135
57
1.10136
45
1.10136
62
1.10136
60
1.10137
47
1.10137
67
1.10137
55
1.10138
52
1.10138
64
1.10138
49
1.10138
48
1.10139
51
1.10139
50
1.10139
67
1.1014
47
1.1014
56
1.1014
63
1.10141
44
1.10141
65
1.10141
51
1.10142
68
1.10142
60
1.10142
46
1.10143
60
1.10143
53
1.10143
59
1.10143
53
1.10144
63
1.10144
80
1.10144
88
1.10145
61
1.10145
92
1.10145
73
1.10146
88
1.10146
97
1.10146
109
1.10147
122
1.10147
119
1.10147
144
1.10148
149
1.10148
172
1.10148
168
1.10148
205
1.10149
208
1.10149
207
1.10149
220
1.1015
244
1.1015
256
1.1015
252
1.10151
279
1.10151
310
1.10151
319
1.10152
333
1.10152
348
1.10152
339
1.10153
304
1.10153
321
1.10153
323
1.10153
317
1.10154
295
1.10154
305
1.10154
288
1.10155
260
1.10155
278
1.10155
266
1.10156
242
1.10156
219
1.10156
202
1.10157
213
1.10157
174
1.10157
169
1.10158
148
1.10158
132
1.10158
115
1.10158
115
1.10159
120
1.10159
92
1.10159
105
1.1016
84
1.1016
90
1.1016
79
1.10161
86
1.10161
76
1.10161
84
1.10162
69
1.10162
81
1.10162
88
1.10162
78
1.10163
76
1.10163
83
1.10163
89
1.10164
117
1.10164
103
1.10164
127
1.10165
146
1.10165
178
1.10165
228
1.10166
243
1.10166
300
1.10166
309
1.10167
333
1.10167
355
1.10167
387
1.10167
369
1.10168
382
1.10168
412
1.10168
457
1.10169
448
1.10169
408
1.10169
359
1.1017
315
1.1017
261
1.1017
216
1.10171
155
1.10171
142
1.10171
105
1.10172
70
1.10172
59
1.10172
45
1.10172
48
1.10173
46
1.10173
46
1.10173
37
1.10174
36
1.10174
34
1.10174
22
1.10175
43
1.10175
30
1.10175
42
1.10176
27
1.10176
33
1.10176
30
1.10177
43
1.10177
29
1.10177
29
1.10177
34
1.10178
22
1.10178
37
1.10178
29
1.10179
27
1.10179
19
1.10179
33
1.1018
33
1.1018
26
1.1018
44
1.10181
38
1.10181
44
1.10181
33
1.10181
27
1.10182
45
1.10182
24
1.10182
28
1.10183
46
1.10183
47
1.10183
33
1.10184
34
1.10184
29
1.10184
30
1.10185
29
1.10185
29
1.10185
29
1.10186
22
1.10186
28
1.10186
33
1.10186
22
1.10187
39
1.10187
31
1.10187
29
1.10188
20
1.10188
36
1.10188
25
1.10189
36
1.10189
34
1.10189
40
1.1019
31
1.1019
38
1.1019
30
1.1019
35
1.10191
39
1.10191
29
1.10191
35
1.10192
36
1.10192
31
1.10192
35
1.10193
32
1.10193
26
1.10193
41
1.10194
42
1.10194
33
1.10194
30
1.10195
27
1.10195
34
1.10195
26
1.10195
28
1.10196
30
1.10196
35
1.10196
34
1.10197
37
1.10197
35
1.10197

NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
2003
5
10
13
44
37
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.01
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
542
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
43
876
1.08071
1.08185
78
1.08071
83
1.08072
94
1.08072
105
1.08073
83
1.08073
94
1.08074
99
1.08074
84
1.08075
88
1.08075
92
1.08075
76
1.08076
79
1.08076
77
1.08077
75
1.08077
90
1.08078
85
1.08078
88
1.08079
63
1.08079
77
1.0808
72
1.0808
83
1.0808
81
1.08081
72
1.08081
101
1.08082
75
1.08082
68
1.08083
74
1.08083
77
1.08084
83
1.08084
97
1.08084
66
1.08085
53
1.08085
69
1.08086
75
1.08086
80
1.08087
83
1.08087
80
1.08088
74
1.08088
72
1.08088
88
1.08089
73
1.08089
84
1.0809
76
1.0809
68
1.08091
64
1.08091
57
1.08092
73
1.08092
78
1.08092
71
1.08093
62
1.08093
65
1.08094
84
1.08094
73
1.08095
79
1.08095
59
1.08096
81
1.08096
70
1.08096
87
1.08097
74
1.08097
73
1.08098
67
1.08098
61
1.08099
69
1.08099
73
1.081
73
1.081
77
1.08101
62
1.08101
69
1.08101
76
1.08102
93
1.08102
80
1.08103
74
1.08103
93
1.08104
75
1.08104
78
1.08105
86
1.08105
77
1.08105
73
1.08106
83
1.08106
94
1.08107
83
1.08107
90
1.08108
71
1.08108
94
1.08109
80
1.08109
76
1.08109
84
1.0811
109
1.0811
89
1.08111
100
1.08111
123
1.08112
135
1.08112
142
1.08113
145
1.08113
173
1.08113
158
1.08114
173
1.08114
209
1.08115
209
1.08115
244
1.08116
265
1.08116
297
1.08117
325
1.08117
327
1.08117
401
1.08118
406
1.08118
409
1.08119
498
1.08119
511
1.0812
549
1.0812
639
1.08121
621
1.08121
671
1.08121
736
1.08122
775
1.08122
797
1.08123
757
1.08123
839
1.08124
875
1.08124
867
1.08125
858
1.08125
864
1.08125
858
1.08126
807
1.08126
876
1.08127
759
1.08127
766
1.08128
724
1.08128
655
1.08129
565
1.08129
596
1.08129
530
1.0813
530
1.0813
449
1.08131
435
1.08131
366
1.08132
339
1.08132
306
1.08133
280
1.08133
267
1.08133
252
1.08134
210
1.08134
191
1.08135
181
1.08135
152
1.08136
141
1.08136
135
1.08137
105
1.08137
116
1.08137
109
1.08138
95
1.08138
83
1.08139
93
1.08139
70
1.0814
70
1.0814
78
1.08141
98
1.08141
67
1.08141
71
1.08142
79
1.08142
82
1.08143
66
1.08143
76
1.08144
69
1.08144
81
1.08145
76
1.08145
86
1.08145
61
1.08146
63
1.08146
52
1.08147
56
1.08147
64
1.08148
66
1.08148
77
1.08149
65
1.08149
73
1.08149
80
1.0815
61
1.0815
79
1.08151
72
1.08151
86
1.08152
71
1.08152
72
1.08153
60
1.08153
58
1.08153
70
1.08154
83
1.08154
66
1.08155
64
1.08155
60
1.08156
72
1.08156
69
1.08156
59
1.08157
82
1.08157
72
1.08158
81
1.08158
62
1.08159
69
1.08159
79
1.0816
66
1.0816
75
1.0816
72
1.08161
60
1.08161
59
1.08162
58
1.08162
62
1.08163
69
1.08163
69
1.08164
71
1.08164
56
1.08164
58
1.08165
50
1.08165
57
1.08166
61
1.08166
51
1.08167
51
1.08167
63
1.08168
53
1.08168
55
1.08168
62
1.08169
63
1.08169
45
1.0817
59
1.0817
65
1.08171
68
1.08171
49
1.08171
62
1.08172
56
1.08172
56
1.08173
57
1.08173
64
1.08174
75
1.08174
59
1.08175
60
1.08175
52
1.08175
57
1.08176
61
1.08176
52
1.08177
52
1.08177
63
1.08178
59
1.08178
63
1.08179
64
1.08179
58
1.08179
57
1.0818
64
1.0818
61
1.08181
62
1.08181
66
1.08182
65
1.08182
43
1.08183
65
1.08183
69
1.08183
58
1.08184
53
1.08184
51
1.08185

NBS SRM 1521 B-70: Boron Doped Silicon (8.76 Mega-Ohm, as rec'd)
2003
5
10
13
44
37
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
15
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
512
6
145
0.494974
0.497318
114
0.497318
113
0.497309
116
0.497299
129
0.49729
102
0.497281
118
0.497272
123
0.497262
126
0.497253
116
0.497244
143
0.497234
111
0.497225
120
0.497216
120
0.497207
135
0.497197
120
0.497188
119
0.497179
133
0.49717
138
0.49716
120
0.497151
110
0.497142
99
0.497132
135
0.497123
136
0.497114
134
0.497105
118
0.497095
118
0.497086
95
0.497077
108
0.497068
116
0.497058
95
0.497049
104
0.49704
118
0.497031
120
0.497021
116
0.497012
118
0.497003
116
0.496994
120
0.496984
106
0.496975
109
0.496966
109
0.496957
100
0.496947
126
0.496938
129
0.496929
104
0.49692
111
0.49691
116
0.496901
119
0.496892
115
0.496883
116
0.496873
89
0.496864
106
0.496855
89
0.496846
110
0.496836
114
0.496827
107
0.496818
120
0.496809
119
0.496799
112
0.49679
125
0.496781
111
0.496772
98
0.496762
106
0.496753
114
0.496744
104
0.496735
120
0.496726
109
0.496716
105
0.496707
111
0.496698
107
0.496689
123
0.496679
122
0.49667
104
0.496661
116
0.496652
105
0.496642
135
0.496633
112
0.496624
125
0.496615
130
0.496606
118
0.496596
130
0.496587
117
0.496578
125
0.496569
122
0.496559
109
0.49655
112
0.496541
127
0.496532
119
0.496523
101
0.496513
106
0.496504
118
0.496495
129
0.496486
111
0.496476
121
0.496467
119
0.496458
119
0.496449
122
0.49644
127
0.49643
123
0.496421
132
0.496412
113
0.496403
125
0.496394
145
0.496384
118
0.496375
111
0.496366
99
0.496357
122
0.496347
125
0.496338
124
0.496329
118
0.49632
114
0.496311
126
0.496301
103
0.496292
112
0.496283
117
0.496274
121
0.496265
101
0.496255
98
0.496246
77
0.496237
106
0.496228
71
0.496219
71
0.496209
78
0.4962
71
0.496191
90
0.496182
74
0.496173
83
0.496163
74
0.496154
77
0.496145
66
0.496136
69
0.496127
65
0.496117
79
0.496108
66
0.496099
75
0.49609
57
0.496081
63
0.496072
60
0.496062
76
0.496053
65
0.496044
58
0.496035
64
0.496026
59
0.496016
55
0.496007
52
0.495998
51
0.495989
61
0.49598
45
0.495971
54
0.495961
49
0.495952
52
0.495943
46
0.495934
44
0.495925
54
0.495915
39
0.495906
41
0.495897
38
0.495888
60
0.495879
48
0.49587
47
0.49586
52
0.495851
48
0.495842
47
0.495833
55
0.495824
47
0.495815
39
0.495805
46
0.495796
40
0.495787
32
0.495778
32
0.495769
26
0.49576
38
0.49575
29
0.495741
28
0.495732
50
0.495723
30
0.495714
41
0.495705
34
0.495695
23
0.495686
18
0.495677
24
0.495668
24
0.495659
17
0.49565
21
0.49564
14
0.495631
15
0.495622
23
0.495613
8
0.495604
12
0.495595
15
0.495586
22
0.495576
12
0.495567
13
0.495558
13
0.495549
18
0.49554
12
0.495531
21
0.495521
18
0.495512
13
0.495503
15
0.495494
9
0.495485
7
0.495476
15
0.495467
21
0.495457
11
0.495448
19
0.495439
20
0.49543
6
0.495421
12
0.495412
7
0.495403
16
0.495393
17
0.495384
11
0.495375
12
0.495366
12
0.495357
10
0.495348
8
0.495339
12
0.49533
17
0.49532
13
0.495311
13
0.495302
15
0.495293
13
0.495284
10
0.495275
15
0.495266
13
0.495256
13
0.495247
10
0.495238
14
0.495229
12
0.49522
16
0.495211
14
0.495202
13
0.495193
9
0.495183
8
0.495174
12
0.495165
14
0.495156
13
0.495147
12
0.495138
11
0.495129
15
0.49512
11
0.49511
6
0.495101
13
0.495092
10
0.495083
15
0.495074
9
0.495065
14
0.495056
19
0.495047
15
0.495038
9
0.495028
15
0.495019
20
0.49501
24
0.495001
10
0.494992
16
0.494983
12
0.494974
end of experiment
